茂丰光电

由于日元汇率一直变动，所有日本sigma光机的相关产品，价格填写为零，具体价格需要和客服咨询，日币参考价格在详情页

可实现5nm分辨率定位的闭环控制平台。
在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。 读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度
备有2个不同行程规格（20mm，50mm）的产品。

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此模块供电脑端使用

FS-1020SPX TS-1050SPX

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