茂丰光电

(由于日元汇率一直变动，所有日本sigma光机的相关产品，价格填写为零，具体价格需要和客服咨询)

可实现10nm分辨率定位的闭环控制平台。
在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。
读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。
备有5个不同行程规格（20，50，100，150，200mm）的产品。此系列平台的行程大，所以，非常适用于大范围内的数据测量，或高精密度的定位系统。

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