1、 内置型液压减振器
2、 根据UNIT Type 所有型号高度为标准化155mm
3、 对装置上部的Motion 可迅速控制
4、 安装反复精密度在±100um 以内的2 段式传感器
5、 对移动载荷迅速控制
■产品用途：
半导体制作及检查装置，FPD 制作及检查装置，精密平台装置。
主要规格表：
可接受定制
MKB-0590 MKB-0930 MKB-1500
