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内置光栅尺自动平台系统 HST(GS)
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由作为位置基准(刻度)的光栅尺,和解读其刻度获得位置信息的信号处理部组成。

在半导体,显示屏(FPD),电路板等电器制造,电子部品实装,机床等很多领域都广泛使用带光栅尺的产品。

信息

▶光栅尺的理论分辨率为0.05μm。

▶如希望不同于样本标示的分辨率的话,欢迎咨询。

注意

▶为了保证样本所示的技术指标,闭环控制HST(GS)系列平台,推荐将细分数设定为大于100(1个脉冲的位移小于0.05μm)的数值。

内置光栅尺自动平台系统-HST(GS)-图_01.jpg内置光栅尺自动平台系统-HST(GS)-图_02.jpg内置光栅尺自动平台系统-HST(GS)-图_03.jpg




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此模块供电脑端使用

型号

DXF

STP

IGES

SAT

HST(GS)-50X

HST(GS)-50X-DXF

HST(GS)-50X-STP

HST(GS)-50X-IGES

HST(GS)-50X-SAT

HST(GS)-100X

HST(GS)-100X-DXF

HST(GS)-100X-STP

HST(GS)-100X-IGES

HST(GS)-100X-SAT

HST(GS)-200X

HST(GS)-200X-DXF

HST(GS)-200X-STP

HST(GS)-200X-IGES

HST(GS)-200X-SAT

HST(GS)-50X HST(GS)-100X HST(GS)-200X

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品牌
Sigma
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