茂丰光电

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采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

SFS-H

1、采用了数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。

2、采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。和开环控制相比，闭环控制时的最大行程会少10%左右。

3、位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。

4、使用FINE系列控制器，可实现高速定位。

5、重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。

SFS-120XY(WA)

1、驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台，适用于在显微镜下微动。

2、推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。选购测量·控制软件SGADVANCEE或SGSFSX等，可方便地构建位置控制系统。

3、是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置非常好的选择。

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SFS-H60Z(CL) SFS-H60XYZ(CL) SFS-120XY(WA) SFS-H40X(CL) SFS-H40Z(CL) SFS-H60X(CL) SFS-H60XY(CL)

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