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大行程纳米定位平台attocube采用了最高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。
1、ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。
2、ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
3、同时，其最大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。
另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。attocube系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。如用作Z轴的话，请来信咨询。
其动作原理如图所示。使用图中电压波形驱动，利用静摩擦力和动摩擦力的差，实现平台的移动。
调整驱动动作的参数有电压值和频率，其范围分别为1V〜4 5V，１Hz〜5kHz。
平台内置位移传感器，利用闭环控制实现定位。重复定位精度为50nm，定位精度小于行程的0.01%。如移动范围为30mm的话，精度小于3μm。
关于真空用技术指标
RT：标准型平台
适用真空度：10-2 Pa / 主要材料：铝合金
HV：高真空用平台
适用真空度：10-6 Pa /主要材料：不锈钢
UHV：超高真空用平台（定制）
适用真空度：10-6 10-9 Pa/主要材料：不锈钢
※1 使用FINE POSITIONING mode以及输入电压范围时（0～45V）的数据。
※ 此处的承载能力是指导轨的承载能力，不同时保证其他精度指标。
※ 除标准型RT外，还有「HV」、「UHV」型。（选用时，在上述型号的末尾加注/HV或/UHV。）
※ 内部无极限位置传感器。
※1 使用FINE POSITIONING mode以及输入电压范围时（0～45V）的数据。
※ 此处的承载能力是指导轨的承载能力，不同时保证其他精度指标。
※ 除标准型RT外，还有「HV」、「UHV」型。（选用时，在上述型号的末尾加注/HV或/UHV。）
※ 内部无极限位置传感器。
ECS3030-Al/NUM/RT ECS3080-Al/NUM/RT ECS5050-Al/NUM/RT ECS3030-Al/RT ECS3080-Al/RT ECS5050-Al/RT
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