茂丰光电

由于日元汇率一直变动，所有日本sigma光机的相关产品，价格填写为零，具体价格需要和客服咨询，日币参考价格在详情页

可以在高真空腔内进行远程操作的低释气超声波驱动装置

● 具有小型化，行程13mm，速度可达0.5mm/sec。● 运动部使用了高级真空油脂（BARRIERTA SUPER IS/V）。

信息：

▶如需要与您使用的平台或镜架等组合使用，请咨询。

▶如需改变前端端面形状，请咨询。

▶如需与真空用镜架VMHG系列组合使用，请咨询定制球头规格。

■真空特性评估

・出气量

电导调制法是通过测量真空装置的电导值变化，评估排气量或真空度的一种方法。常被用于测量评估出气量随时间的变化情况，或进行不同产品的出气特性的比较实验。

■测试装置概要

排气装置

种类：涡轮分子泵

型号：STP-301

制造商：精工精机（現：Edwards）

排气速度：300 ℓ/s

质量分析仪

种类：四极质谱分析仪

型号： QME200

原子质量数范围：1～200

制造商：PFEIFFER社制造

控制器接口的管脚定义（PKA-ID-02)

Axis1，Axis2接口

驱动装置线缆管脚定义

(PTFE 线缆)

线缆管脚定义(DS3-CA-SG-2.5)

资料下载:   PDF