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FS-PX 纳米自动平台控制器 用于10nm 专用控制器 / FC-514
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目录编号:W9306
RoHS:是
CE：否
In Position Range：+/- 10nm (+/- 30, +/- 70nm selectable)
Slow Down Sensor Input：N/A
Minimum Command Unit：10nm
Max Travel Range Set Value：ー1342.17728mm
Max Operating Speed Set Value：50mm/sec
控制轴数：2 axes
价格
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