茂丰光电

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可实现10nm分辨率定位的闭环控制平台。
在平台中央位置内置了本公司开发的光栅尺位置检测系统。
读取该光栅尺的位置信息实现高分辨率的闭环控制、重复定位精度（位置再现性），以及位置的保持精度。
备有5个不同行程规格（20，50，100，150，200mm）的产品。此系列平台的行程大，所以，非常适用于大范围内的数据测量，或高精密度的定位系统。

※1： Minimum resolution and position repeatability accuracy for built-in scale read.

※2： Running parallelism per 100mm travel.

※3： Scale cable comes directly out of the stage. Please prepare "extension cable for scale" separately if 2m or longer cable are needed

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此模块供电脑端使用

FS-1020PX FS-1050PX FS-1100PX FS-3150PX FS-3200PX