通过在用于垂直面安装的Z轴手动平台本体上加装压电驱动器来实现20nm以下的精密微调。适用于需要高分辨率定位机能的手动平台组件或系统。台面尺寸有25x25，40x40，60x60mm，65x65mm等三种。

无需对手动纳米平台操作箱进行设定即可进行微调。可同时使用旋钮和微分头进行微调和粗调，互不影响。

RoHS：是

CE：是

信息：微调需要通过纳米平台手动操作箱(PASC)来进行。手动纳米平台附有一条用于连接纳米平台手动操作箱的2m长电缆。

注意：安装平台时，一定要注意不要碰撞微分头的对侧挡板，以防对压电驱动机构造成破坏。

关掉纳米平台手动操作箱(OASC)电源后，压电微调位置会发生变化。

台面尺寸：65×65mm

微调分辨率：20nm以下

微分头最小读数：0.01mm

微分头的安装位置：侧面

扭矩刚度/俯仰：0.5″/N・cm

导轨形式：TSD导轨

移动精度/直线度：3μm

移动平行度：20μm

行程/周：0.5mm

最大承载力矩/俯仰：4.9N・m

最大承载力矩/转动：4.9N・m

自重：0.56kg

主要材料：铝合金

粗调行程：±12.5mm

承载能力：9.8N(1.0kgf)

微调行程：30µm以上

表面处理：黑色氧化

平行度：20μm

TADC-653L25-M6PA

TADC-653L25UUPA

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