茂丰光电

(由于日元汇率一直变动，所有日本sigma光机的相关产品，价格填写为零，具体价格需要和客服咨询)

以10nm的分辨率控制10nm反馈台( FS-PX系列)的专用控制器。

由于各种错误检测功能、通用I/O、示教功能，是安全性及作业性较高的产品。

在位置范围内        +/- 10nm (+/- 30, +/- 70nm selectable)

减慢传感器输入      N/A

Z小俯视单位         10nm

Z大行程范围设定值   ー1342.17728～+1342.17727mm

Z大运行速度设定值   50mm/sec

控制轴数            2 axes