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XY轴手动纳米平台 / TADC-652WS25-M6PA
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通过在XY轴手动平台本体上加装压电驱动器来实现20nm以下的精密微调。适用于需要高分辨率定位机能的手动平台组件或系统。台面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三种。

无需对手动纳米平台操作箱进行设定即可进行微调。可同时使用旋钮和微分头进行微调和粗调,互不影响。

信息

微调需要通过纳米平台手动操作箱(PASC)来进行。手动纳米平台附有一条用于连接纳米平台手动操作箱的2m长电缆。

注意

安装平台时,一定要注意不要碰撞微分头的对侧挡板,以防对压电驱动机构造成破坏。

关掉纳米平台手动操作箱(OASC)电源后,压电微调位置会发生变化。

TADC-652WS25-M6PA外形图.jpg


台面尺寸65×65mm
微调分辨率20nm以下
微分头读数(min)0.01mm
微分头的安装位置侧面
扭矩刚度/俯仰0.6″/N・cm
扭矩刚度/转动0.6″/N・cm
导轨形式TSD导轨
移动精度/直线度3μm
移动平行度20μm
行程/周0.5mm
承载力矩/俯仰(max)4.9N・m
承载力矩/偏摆(max)4.9N・m
承载力矩/转动(max)4.9N・m
自重0.72kg
主要材料铝合金
粗调行程±12.5mm
承载能力49N(5kgf)
微调行程30µm以上
表面处理黑色氧化
平行度50μm

TADC-652WS25-M6PA曲线图.jpg


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类型
位移台
品牌
Sigma
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