茂丰光电

JPY: 350000(由于日元汇率一直变动，所有日本sigma光机的相关产品，价格填写为零，具体价格需要和客服咨询)

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择

由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。

从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。

提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

信息

控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

注意

请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）

请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。

请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。

如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。

技术指标

※1连接到SHR控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。

※2 启用多点纠错功能时的数值。

※3 在微小范围内进行重复定位精度测量（ISO）所得到的结果。 NFS-PX系列10nm闭环控制平台测量步长（间距）：50nm

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