ME40 系列台上型/ 台桌型主动隔振系统

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ME40系列台上型/ 台桌型主动隔振系统是由日本制造，ME40系列是将垂直用和水平用振荡器组装成既薄而又小型台上型/台桌型主动隔振系统。像使用办公桌一样的方便，只要简单地将其放在需要隔振的装置下面，就可以实现在6 个全部自由度上的隔振及制振的功能。它能提供支持尖端技术的下一代优良测量及操作环境。

●能除去被动隔振所难以除去的频带域上的振动被动隔振经常会遇到由系统固有频率而产生的共振现象，这种共振现象可以通过主动隔振来消除。另外，对此频带域，主动隔振还可以实现相当好的隔振效果。例如，对于被动隔振所不在行的2Hz附近低频振动，主动隔振可以使振动减小到被动隔振的1/30 ～ 1/100。

●重量轻刚度高的铝质台基及钢质蜂窝台基台桌型ME40系列采用了经过更多次的研究而研制出的钢质蜂窝台基。刚性提高了30 ～ 40%，与铸铁台基相比拥有同样的刚性，但重量只是铸铁的1/5 ～ 1/7 左右。另外，蜂窝核心与钢板以很小的间隔黏贴在一起，以确保了优良的减振效果。由此，台基上的振动可以瞬时间衰减，从而发挥安定的隔振性能。台上型ME40 系列采用重量轻刚度高的铝质台基。轻量超薄可以解决安装场所及安装移动时的疑难问题。

●ME40是发挥精密器械性能的不可缺少的组成部分之一至今，大多客户是由于担心振动而使用隔振装置。可是随着精密器械的高精度化，高功能化和大型化的进展，若不使用隔振装置来消隔振动的影响，精密器械就不能按照产品说明书上写的那样正常地发挥性能。在纳米可视化的电子显微镜（STM，AFM）领域，主动隔振装置已经成为不可缺少组成部分。与乘载装置结合起来调试可以实现较好的隔振性能。